真空鍍膜機如何選配真空泵及注意事項

• 真空鍍膜機工作期間必須要配置真空泵，工件才能在需要的真空度條件下，進行鍍膜。真空度是真空鍍膜工藝的一個重要的參數，工件鍍的膜層不一樣，采用的鍍膜工藝不一樣，那么對真空度的要求也不一樣。
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• 一、產生、改善或維持真空的裝置
• 真空度分低真空，中真空，高真空，那么低真空、中真空、高真空各采用的真空泵類型是不一樣的，如低真空，一般采用機械泵和旋片泵，中真空采用滑閥泵、羅茨泵，高真空采用擴散泵和分子泵。那么根據工件和鍍制的膜層材料不一樣，采用的鍍膜工藝不同，那么各階段真空鍍采用的真空泵型號也不一樣，以及真空泵數量也有區(qū)別。
• 其中，低真空： 10E5~10E2 Pa，中真空：10E2~10E-1 Pa，高真空：10E-1~10E-5 Pa，超高真空： <10E-5 Pa。
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• 二、真空鍍膜機
• 真空鍍膜機包括蒸發(fā)鍍膜機、磁控濺射鍍膜機、離子鍍膜機和等離子化學沉積裝置等。
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• 三、為了更好的認識和選擇真空鍍膜機真空泵，我們必須要注意以下幾點：
• 1、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若是工藝過程不支持，應選擇無振動的泵或者采取防振動的一系列措施。
• 2、了解被抽氣體成分，氣體中有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵的時候需要知道氣體成分，針對被抽氣體時需要選擇相應的泵。若是氣體中含有蒸氣、顆粒以及腐蝕性的氣體，需要考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備。
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• 3、真空泵在其工作壓強下，可以排走真空設備工藝過程中產生的全部的氣體量。
• 4、正確地組合真空泵。有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，由于真空泵有選擇性抽氣，需要幾種泵組合相互補充才能滿足抽氣的要求。
• 如：鈦升華泵對氫有很高的抽速，但是不能進行抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的泵效，兩者組合起來，則會使真空裝置得到相應的真空度。此外,有的真空泵不可以在大氣壓力下工作,必須預真空泵:有的真空泵出入口壓強小于大氣壓力,必須前面泵,故都必須把泵組成起來應用。
• 5、真空設備對油污染的要求。若設備明確要求無油時，應該選用各種無油泵。
• 如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等，如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，再加一些抗油環(huán)境污染對策,亦或者冷阱、障板、擋油阱等,也可以做到清理真空泵規(guī)定。
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• 6、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內比較合適，而不能讓它在25~30mmHg下長期的工作。
• 當泵必須的空氣壓力不太高或需要的真空度不太高的情況下，可優(yōu)先選擇在單極泵中開展選擇，渡過排氣管工作壓力或真空度的規(guī)定較高，單極泵通常不能符合要求，需要選擇應用二級泵或是多級離心泵。
• 如：擴散泵為10-3~10-7mmHg,在如此寬壓強范疇內，泵的泵效隨壓強而轉變,其平穩(wěn)的工作壓強范疇為5*10-4~5x10-6mmHg。因此，泵的工作點應當選在這個范疇以內，而不可以讓它在10-8mmHg下長期性工作。又如鈦提升泵能夠在10-3mmHg下工作，但其工作壓強應低于1x10-5mmHg為好。
• 7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選擇無油性真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
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• 8、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。
• 如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg，最好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。
• 9、最后就是考慮真空泵的初裝價格、運轉及維修費用了，結合實際情況選擇性價比高的真空泵。
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