技術(shù)特性 帶集成式變頻器的氣密螺桿真空泵 即使在高進(jìn)口壓力下，抽速也很高 簡(jiǎn)潔的機(jī)械設(shè)計(jì)，易于集成的電氣裝置 集成式保護(hù)傳感器，用于監(jiān)測(cè)溫度和排氣壓力 優(yōu)化的轉(zhuǎn)子幾何結(jié)構(gòu)和高效的電機(jī)，實(shí)現(xiàn)低能耗 防止灰塵侵入 出色的排除可凝氣體（水蒸汽）性能 設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小